Bei unseren LPC/LPS handelt es sich um kleine Lineartische mit großen Stellwegen. Die Geradführung ist optimiert – insbesondere bei Nutzung der zusätzlichen stirnseitigen Plattform.
| Produkt-Nummer | LP_-D00100 | LP_-D00300 | LP_-D00600 | LP_-D01000 | Einheit |
| Stellweg, Closed-Loop | 100 | 300 | 600 | 1000 | µm |
| Auflösung, LPC
Auflösung, LPS |
0.5
1.5 |
1.5
5 |
3.0
9 |
5
15 |
nm |
| Linearität, LPC
Linearität, LPS |
0.02
0.2 |
% | |||
| Reproduzierbarkeit, LPC
Reproduzierbarkeit, LPS |
5
10 |
10
25 |
20
70 |
30
100 |
nm |
| Nicken/Gieren | ±3 | ±3 | ±6 | ±10 | µrad |
| Last | 1 | Kg | |||
| Druck/Zug | 50/20 | 30/10 | N | ||
| Steifigkeit | 1,6 | 0,3 | 0,15 | 0.15 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 900 | 425 | 225 | 200 | Hz |
| El, Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2,2 | 3,3 | 4,4 | 7,7 | µF |
| Material | Edelstahl/Aluminium | ||||
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C | |||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Controller für LPC, EBC-120310
- Controller für LPS, EBD-060310