Nano-Positionierung

Optimal für das Nano-Positionieren sind Piezoantriebe in Kombination mit elektroerodierten Führungen und Übersetzungshebeln. Haft- und Gleitreibung werden vermieden, so dass Zielpositionen mit Sub-Nanometer-Genauigkeit eingenommen werden. Als Ortsensoren werden Vollbrücken-Dehnmessstreifen oder kapazitive Sensoren integriert. Bezogen auf die Nennstellwege sind Auflösungen von 5 ppm, Wiederholbarkeiten von 50 ppm und Linearitäten von 100 ppm möglich.