Piezo-Aktuatoren sind Festkörper, welche Ihre Form verändern, wenn Sie elektrisch aufgeladen werden. Dabei ist keinerlei Reibung involviert, so dass die Auflösung beim Positionieren nur durch das Rauschen der Spannungsquelle begrenzt wird.
Elektroerodierte Festkörpergelenke (EDM-cut flexures) kommen für die Übersetzungshebel und die Führungen zum Einsatz. Da diese ebenfalls reibungsfrei arbeiten, kann die feine Auflösung der Piezoantriebe direkt in Positionieraufgaben übertragen werden.