CPO-L00500 (open-loop) und CPS-D00500 (closed loop) sind kompakte Z-Tische, welche große Stellwege bei kleinen Dimensionen liefern. Die Grundfläche beträgt nur 60×60 mm.
| Produktnummer | CPO-L00500 | CPS-D00500 | Einheit |
| Positions-Sensor | DMS, Vollbrücke | ||
| Stellweg, geregelt | – | 500 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 600 | µm | |
| Auflösung, ungeregelt | 3 | nm | |
| Auflösung, geregelt | – | 5 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit | – | 50 | nm |
| Druck/Zug | 40/20 | N | |
| Laterale Kraft | 10 | N | |
| Steifigkeit | 0,15 | N/µm | |
| Resonanz, ohne Last | 260 | Hz | |
| Resonanz, mit 100 g Last | 180 | Hz | |
| Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz | 4,4 | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Kabellänge | 1.5 | 1.5 | |
| Anschluss | Lemo | DSub15 | |
| Betriebstemperatur | -20..+80 | ||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310