Bei den SFC/SFS StraightFocus handelt es sich um Versteller für Mikroskopobjektive mit großen Stellwegen. StraightFocus sind optimiert hinsichtlich Führungsgenauigkeit. Es gibt jeweils Ausführungen ohne Sensoren, mit Dehnungssensoren (SFS) und kapazitive Sensoren (SFC). Letztere bieten die höchste Positioniergenauigkeit.
Produkt-Code | SF_-D20100 | SF_-D20400 | SF_-D20800 | Einheit |
Stellweg, Closed Loop | 100 | 400 | 800 | µm |
Stellweg, Open Loop (-45..180 V) | 120 | 480 | 960 | µm |
Auflösung, SFC Auflösung, SFS |
0.5 1.5 |
2 6 |
4 12 |
nm |
Linearität, SFC Linearität, SFS |
0.02 0.2 |
% | ||
Nicken/Gieren | 10 | 30 | 60 | µrad |
Reproduzierbarkeit, SFC Reproduzierbarkeit, SFS |
10 20 |
30 50 |
50 80 |
nm |
Druck/Zug | 15/20 | 15/20 | 10/20 | N |
Steifigkeit | 0.5 | 0.25 | 0.09 | N/µm |
Resonanz, unbelastet | 680 | 400 | 230 | Hz |
Electr. Kap. @ 1V eff, 1kHz | 1.1 | 3.3 | 6.6 | µF |
Grundkörper, Material | Aluminium/Edelstahl | |||
Betriebstemperatur | -20..80 | °C |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit oder unmagnetisch
- Passender Controller für SFC, EBC-120310
- Passender Controller für SFS, EBD-120310