L3C-D10100 Tische sind optimiert für das schnellste Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 100 µm Stellweg zur Verfügung. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.
| Produkt-Nummer, L3C-D10100-.. | XY100Z20 | XY100Z50 | XY100Z100 | Unit |
| Positions-Sensoren | kapazitiv (kap) | |||
| Stellwege, geregelt | 100/100/20 | 100/100/50 | 100/100/100 | µm |
| Stellwege, -45..+180V | 140/140/24 | 140/140/60 | 140/140/120 | µm |
| Auflösung, XY/Z | 0,5/0,1 | 0,5/0,3 | 0,5 | nm |
| Linearität, XY/Z | 0,02/0,07 | % | ||
| Wiederholbarkeit, XY/Z | 5/2 | 5/3 | 5 | nm |
| Resonanz, XY, unbelastet | 1100 | Hz | ||
| Resonanz, Z, unbelastet | 1200 | 760 | 730 | Hz |
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | XY13,2/Z4,4 | XY13,2/Z4,4 | XY13,2/Z8,8 | µF |
| Maße (LxWxH) | 150x150x30 | mm | ||
| Apertur, Maße (LxW) | 66×66 | mm | ||
| Material, Körper, Plattform | Aluminium, schwarz eloxiert | |||
| Masse | 1,45 | kg | ||
| Betriebstemperatur | -20..+80 | °C | ||
| Anschluss | DSub25 | |||
| Kabellänge | 1.5 | m | ||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit und unmagnetisch
- Controller für LPC, EBC-120330
- Controller für LPS, EBD-060330