L3C- und L3S-Tische sind optimiert für Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 600 µm Stellweg zur Verfügung. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.
| Produktnummer, L3_D10600-.. | XY600Z20 | XY600Z50 | XY600Z100 | XY600Z300 | Einheit |
| Positionssensoren | Kapazitive Sensoren (L3C), Dehnungssensoren (L3S) | ||||
| Stellwege, geregelt | 600/600/20 | 600/600/50 | 600/600/100 | 600/600/300 | µm |
| Stellwege, -45,, 180V | 720/720/24 | 720/720/60 | 720/720/120 | 720/720/360 | µm |
| Auflösung, L3C, XY/Z
Auflösung, L3S, XY/Z |
3/0,1
6/0,5 |
3/0,3
6/1 |
3/0,5
6/1 |
3/1,5
6/3 |
nm |
| Linearität, L3C, XY/Z
Linearität, L3S |
0,02/0,07
0,2 |
% | |||
| Wiederholbarkeit, L3C, XY/Z
Wiederholbarkeit, L3S, XY/Z |
30/1
60/2 |
30/3
60/5 |
30/5
60/10 |
30/15
60/60 |
nm |
| Resonanz, XY, unbelastet | 160 | Hz | |||
| Resonanz, Z, unbelastet | 550 | 520 | 510 | 410 | Hz |
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | XY13,2/Z4,4 | XY13,2/Z8,8 | XY13,2/Z13,2 | µF | |
| Maße (LxWxH) | 150x150x30 | mm | |||
| Apertur, Maße (LxB) | 66×66 | mm | |||
| Material, Körper, Plattform | Aluminium, schwarz eloxiert | ||||
| Masse | 1,45 | kg | |||
| Kabellänge | 1,5 | m | |||
| Anschluss | DSub25 | ||||
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit und unmagnetisch
- Controller für LPC, EBC-120330
- Controller für LPS, EBD-060330