L3C- und L3S-Tische sind optimiert für Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 300 µm Stellweg zur Verfügung. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.
| Produktnummer, L3_D10300-.. | XY300Z20 | XY300Z50 | XY300Z100 | XYZ300 | Einheit |
| Positionssensoren | Kapazitive Sensoren (L3C), Dehnungssensoren (L3S) | ||||
| Stellwege, geregelt | 300/300/20 | 300/300/50 | 300/300/100 | 300/300/300 | µm |
| Stellwege, -45,, 180V | 480/480/24 | 480/480/60 | 480/480/120 | 480/480/360 | µm |
| Auflösung, L3C, XY/Z
Auflösung, L3S, XY/Z |
1,5/0,1
3/0,2 |
1,5/0,3
3/0,3 |
1,5/0,5
3/0,5 |
1,5
3/3 |
nm |
| Linearität, L3C, XY/Z
Linearität, L3S |
0,02/0,07
0,2 |
% | |||
| Wiederholbarkeit, L3C, XY/Z
Wiederholbarkeit, L3S, XY/Z |
15/1
30/2 |
15/3
30/5 |
15/5
30/10 |
15/15
30/30 |
nm |
| Resonanz, XY, unbelastet | 185 | Hz | |||
| Resonanz, Z, unbelastet | 680 | 600 | 580 | 450 | Hz |
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | XY13,2/Z4,4 | XY13,2/Z8,8 | XY13,2/Z13,2 | µF | |
| Maße (LxWxH) | 150x150x30 | mm | |||
| Apertur, Maße (LxB) | 66×66 | mm | |||
| Material, Körper, Plattform | Aluminium, schwarz eloxiert | ||||
| Masse | 1,45 | kg | |||
| Kabellänge | 1,5 | m | |||
| Anschluss | DSub25 | ||||
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit und unmagnetisch
- Controller für LPC, EBC-120330
- Controller für LPS, EBD-060330