L2C-D0xxxx sind kompakte und dabei ultra-präzise XY-Piezotische. Die Stellwege betragen 100 bis 1200 µm. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung.
| Produkt-Nummer | L2C-D00100 | L2C-D00300 | L2C-D00600 | L2C-D01200 | Einheit |
| Stellweg, Closed-Loop | 100 | 300 | 600 | 1200 | µm |
| Auflösung | 0.5 | 1.5 | 3.0 | 6 | nm |
| Linearität | 0.02 | ||||
| Reproduzierbarkeit | 5 | 20 | 40 | 80 | nm |
| Nicken/Gieren | ±3 | ±3 | ±6 | ±12 | µrad |
| Last | 1 | kg | |||
| Druck/Zug | 50/20 | 30/10 | N | ||
| Steifigkeit | 1.6 | 0.3 | 0.15 | 0.1 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 900 | 425 | 225 | 150 | Hz |
| El, Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2.2 | 3.3 | 4.4 | 13.2 | µF |
| Material | Edelstahl/Aluminium | ||||
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C | |||
Optionen:
- Vakuumtauglichkeit
- Passstifte
- Passender Controller: EBC-120320