Die hier beschriebenen L2C und L2S Piezotische werden wegen ihrer geringen Höhe (30 mm) und der Apertur (66×66 mm) überwiegend zum Flächenrastern (Scannen) eingesetzt. Die Stellwege betragen 300 oder 600 µm. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Die Versionen L2C erzielen absolut Top-Positioniergenauigkeit dank der kapazitiven Sensoren. Diese Tische gibt es auch mit zusätzlicher Z-Achse oder als hochdynamische Ausführung.
Optionen:
| Produkt-Nummer | L2_-D10300 | L2_-D10600 | Einheit |
| Positionssensoren | L2C kapazitive (cap), L2S Dehnungssensoren (DMS) | ||
| Stellwege XY, closed loop | 300×300 | 600×600 | µm |
| Auflösung, LPC
Auflösung, LPS |
1,5
4 |
3
9 |
nm |
| Linearität, LPC
Linearität, LPS |
0,02
0,2 |
% | |
| Wiederholbarkeit, LPC
Wiederholbarkeit, LPS |
15
30 |
30
60 |
nm |
| Resonanz, unbelastet | 210 | 175 | Hz |
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | 13.2 | µF | |
| Maße (LxWxH) | 150x150x30 | mm | |
| Apertur, Maße (LxW) | 66×66 | mm | |
| Grundkörper/Plattform, Material | Aluminium, schwarz eloxiert | ||
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
| Anschluss | DSub25 | ||
| Kabellänge | 1,5 | m | |
- Vakuumtauglichkeit und/oder unmagnetisch
- Passender Controller für LPC, EBC-120220
- Passender Controller für LPS, EBD-060220 oder EBD-120320