Die hier beschriebenen L2C-D10100 Piezotische werden wegen ihrer geringen Höhe (30 mm) und der Apertur (66×66 mm) überwiegend zum dynamischen Flächenrastern (Scannen) eingesetzt. Die Stellwege in XY jeweils100 µm. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Dank der kapazitiven Sensoren ist die Positioniergenauigkeit einzigartig. Diese Tische gibt es auch mit zusätzlicher Z-Achse oder als Ausführungen mit großem Stellweg.
| Produkt-Nummer | L2C-D10100 | Einheit | ||
| Positionssensoren | Kapazitiv (Cap) | |||
| Stellwege XY, closed loop | 100×100 | µm | ||
| Auflösung, closed loop | 0,5 | nm | ||
| Linearität, closed loop | 0,02 | % | ||
| Wiederholbarkeit | 5 | nm | ||
| Resonanz, unbelastet | 1100 | Hz | ||
| Resonanz mit 2,5 kg Last | 500 | Hz | ||
| El. Kapazität @ 1Veff 1kHz | 13.2 | µF | ||
| Grundkörper/Plattform, Material | Aluminium, schwarz eloxiert | |||
| Masse | 1 | kg | ||
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | ||
| Anschluss | DSub25 | |||
| Kabellänge | 1,5 | m | ||
Optionen:
- Vakuumtauglichkeit und/oder unmagnetisch
- Passender Controller, EBC-120320