CPO-L00250 und CPS-D00250 sind Z-Tische mit kleinsten Maßen, dabei kleinsten Maßen. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm.
| Produktnummer | CPO-L00250 | CPS-D00250 | Einheit |
| Positions-Sensor | DMS, Vollbrücke | ||
| Stellweg, geregelt | – | 250 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 300 | µm | |
| Auflösung, ungeregelt | 1,5 | nm | |
| Auflösung, geregelt | – | 2,5 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit | – | 25 | nm |
| Druck/Zug | 15/10 | N | |
| Laterale Kraft | 10 | N | |
| Steifigkeit | 0,2 | N/µm | |
| Resonanz, ohne Last | 210 | Hz | |
| Resonanz, mit 100 g Last | 190 | Hz | |
| Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz | 2,2 | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Kabellänge | 1.5 | 1.5 | |
| Anschluss | Lemo | DSub15 | |
| Betriebstemperatur | -20..+80 | ||
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310