CPO-L00100 (open-loop) und CPS-D00100 (closed-loop) sind Z-Tische mit kleinsten Maßen. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm.
| Produktnummer | CPO-L00100 | CPS-D00100 | Einheit |
| Positions-Sensor | DMS, Vollbrücke | ||
| Stellweg, geregelt | – | 100 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 120 | nm | |
| Auflösung, ungeregelt | 0.5 | nm | |
| Auflösung, geregelt | – | 1 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0.2 | % |
| Wiederholbarkeit | – | 10 | nm |
| Druck/Zug | 15/10 | N | |
| Laterale Kraft | 10 | N | |
| Steifigkeit | 1.5 | N/µm | |
| Resonanz, ohne Last | 370 | Hz | |
| Resonanz, mit 100 g Last | 310 | Hz | |
| Elektrische-Kapazität bei 1V eff, 1kHz | 2.2 | µf | |
| Körpermaterial | Aluminium, Edelstahl | ||
| Kabellänge | 1.5 | m | |
| Anschluss | Lemo | DSub15 | |
| Betriebstemperatur | -20.. +80 | ℃ | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310