C3O-L00250 (open-loop) und C3S-D00250 (closed loop) sind kleine 3D-Positioniertische. Es stehen große Stellwege von 250µm bei nur kleinem Bauvolumen von nur 40x40x44,6 mm zur Verfügung.
| Produktnummer | C3O-L00250 | C3S-D00250 | Einheit |
| Positionssensor | – | DMS | |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 330 | 330 | µm |
| Stellweg, geregelt | – | 250 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 1,5 | 1,5 | nm |
| Auflösung, geregelt | – | 2,5 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit, geregelt | – | 25 | nm |
| Systematisches Übersprechen | 900 | nm | |
| Last | – | 150 | |
| Druck/Zug | 15/10 | ||
| Steifigkeit | 0,4 | ||
| Resonanz, unbelastet | 210 | ||
| Resonanz mit 30g Last | 190 | ||
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2.2/Achse | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Maße | 40x40x44.6 | mm | |
| Masse | 230 | g | |
| Kabellänge | 1,5 | m | |
| Anschlüsse | Lemosa | DSub | |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passende Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060330