C3O-L00100 (open-loop) und C3S-D00100 (closed loop) sind kleine 3D-Positioniertische. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm. Steifigkeit und niedrigste Resonanz sind vergleichsweise hoch, so dass diese Tischlein dynamisch betrieben werden können.
| Produktnummer | C3O-L00100 | C3S-D00100 | Einheit |
| Positionssensor | – | DMS | |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 120 | 120 | µm |
| Stellweg, geregelt | – | 100 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 0,5 | 0,5 | nm |
| Auflösung, geregelt | – | 1 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit, geregelt | – | 10 | nm |
| Systematisches Übersprechen | 200 | nm | |
| Last | 500 | g | |
| Druck/Zug | 15/10 | N | |
| Steifigkeit | 1,5 | N/µm | |
| Resonanz, unbelastet | 370 | Hz | |
| Resonanz mit 30g Last | 310 | Hz | |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2.2/Achse | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Maße | 40x40x44.6 | mm | |
| Masse | 230 | g | |
| Kabellänge | 1,5 | m | |
| Anschlüsse | Lemosa | DSub | |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passende Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060330