C2O-L00100 and C2S-D00100 sind kleine Kreuztische. Die Grundfläche beträgt nur 40×40 mm. Steifigkeit und niedrigste Resonanz sind vergleichsweise hoch, so dass diese Tischlein dynamisch zu betreiben sind.
| Produktnummer | C2O-L00250 | C2S-D00250 | Einheit |
| Positions-Sensor | – | DMS | |
| Stellweg (-45..180 V) | 330×330 | 330×330 | µm |
| Stellweg, geregelt | – | 250×250 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 1 | 1 | nm |
| Auflösung, geregelt | – | 3 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0.2 | % |
| Wiederholbarkeit, geregelt | – | 25 | nm |
| Systematisches Übersprechen | 900 | nm | |
| Last | 150 | g | |
| Druck/Zug | 15/10 | N | |
| Steifigkeit | 0.4 | N/µm | |
| Resonanz, unbelastet | 210 | Hz | |
| Resonanz, mit 30g Last | 190 | Hz | |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 2.2/Achse | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Maße | 40x40x30 | mm | |
| Kabellänge | 1.5 | m | |
| Anschlüsse | Lemosa | DSub | |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passende Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060320