L2S-D01000 ist ein Kreuztisch mit großem Stellweg in Verbindung mit einer großen Apertur. Die Stellplattform ist leichtgewichtet.
| Produktnummer | L2S-D01000 | Einheit |
| Positionssensor | DMS, Vollbrücke | |
| Stellweg, geregelt | 1000 | µm |
| Stellweg, ungeregelt | 1000 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 5 | nm |
| Auflösung, geregelt | 10 | nm |
| Linearität, geregelt | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit | 50 | nm |
| Druck/Zug | 10 | N |
| Last | 0.2 | kg |
| Laterale Kraft | 10 | N |
| Steifigkeit | 0,2 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 105 | Hz |
| Resonanz mit 200 g Last | 80 | Hz |
| Elektrische Kapazität @ 1V eff, 1kHz | 19,8/Achse | µF |
| Material | Aluminium/Edelstahl | |
| Operating Temperature | -20..80 | °C |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passende Treiber, open-loop, z.B. EBO-050100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-120320