SPS Z-Tische gibt es mit zwei verschiedenen Stellwegen: 150 und 500 µm. Die geringe Höhe von 15 mm lässt viel Platz zum Hantieren. Die Apertur ist 142×110 mm groß und nimmt die optionalen Proben- und Petrischalen-Halter auf.
| Produkt-Nummer | SPS-D00150 | SPS-D00500 | Einheit |
| Positionssensor | Dehnmessstreifen (DMS), Vollbrücke | ||
| Auslenkung, closed loop | 150 | 500 | µm |
| Auslenkung (-45.. 180 V) | 180 | 600 | µm |
| Auflösung, closed loop | 1.5 | 5 | nm |
| Linearität, closed loop | 0.2 | % | |
| Reproduzierbarkeit, closed loop | 15 | 50 | nm |
| Druck/Zug | 50/20 | 50/20 | N |
| Resonanz, unbelastet | 380 | 250 | Hz |
| Resonanz mit 125g Last | 270 | 180 | Hz |
| Resonanz mit 250g Last | 220 | 145 | Hz |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 4,4 | 13,2 | µF |
| Elektrischer Anschluss | D-Sub15(m) | ||
| Maße, L x B x H | 237 x 156 x 15 mm | mm | |
| Apertur, L x B | 142 x 110 | mm | |
| Gehäusematerial | Aluminium, schwarz eloxiert | ||
| Einsatztemperatur | -20..80 | °C | |
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-050100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310