SPS flache Z-Tische für Proben gibt es mit drei verschiedenen Stellwegen: 120, 450 und 650 µm. Die Abmaße sind die gleichen für alle Stellwege. Die Apertur ist 142×110 mm groß und nimmt die optionalen Proben- und Petrischalen-Halter auf.
| Produkt-Nummer | SPS-D00120 | SPS-D00450 | SPS-D00650 | Einheit |
| Positionssensor | Dehnmessstreifen (DMS), Vollbrücke | |||
| Auslenkung, closed loop | 120 | 450 | 650 | µm |
| Auslenkung (-45..+180 V) | 180 | 600 | 820 | µm |
| Auflösung, open loop | 0.4 | 1 | 2 | nm |
| Auflösung, closed loop | 1 | 3 | 4 | nm |
| Linearität, closed loop | 0.1 | % | ||
| Reproduzierbarkeit, closed loop | 10 | 40 | 60 | nm |
| Druck/Zug | 50/20 | 50/20 | 40/15 | N |
| Resonanz, unbelastet | 380 | 250 | 130 | Hz |
| Resonanz mit 125g Last | 270 | 180 | 95 | Hz |
| Resonanz mit 250g Last | 220 | 145 | 75 | Hz |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 4,4 | 13,2 | 13,2 | µF |
| Elektrischer Anschluss | D-Sub 15 | |||
| Maße, L x B x H | 237 x 156 x 15 mm | mm | ||
| Apertur, L x B | 142 x 110 | mm | ||
| Gehäusematerial | Aluminium, schwarz eloxiert | |||
| Einsatztemperatur | -20..80 | °C | ||
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-050100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060210