SPS Inserts sind flache Z-Tische, welche in die meisten Standard-XY-Tische von Mikroskopen eingesetzt werden können. Sie bringen eine höchst-präzise Positionierung entlang der Z-Achse. SPS Inserts sind mit 3 verschiedenen Stellwegen zu haben: 120, 250 und 500 µm. Die Abmaße sind die gleichen für alle Stellwege. Die Apertur kann optionale Proben- und Petrischalen-Halter aufnehmen.

| Produkt-Nummer | SPS-D10120 | SPS-D10250 | SPS-D10500 | Einheit |
| Positionssensor | DMS, Vollbrücke | |||
| Stellweg, geregelt | 120 | 250 | 500 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 150 | 320 | 650 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 0,4 | 0,8 | 2 | nm |
| Auflösung, geregelt | 1 | 2 | 5 | nm |
| Linearität, geregelt | 0,2 | % | ||
| Wiederholbarkeit, geregelt | 10 | 25 | 50 | nm |
| Push/Pull | 50/20 | 40/15 | 40/15 | N |
| Resonanz, unbelastet | 380 | 250 | 150 | Hz |
| Resonanz mit 125g Last | 270 | 180 | 110 | Hz |
| Resonanz mit 250g Last | 220 | 140 | 90 | Hz |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 4.4 | 8.8 | 13. 2 | µF |
| Elektrischer Anschluss | D-Sub 15 | |||
| Abmessungen, L x B x H | 220 x 135 x 27,3 | mm | ||
| Apertur, L x B | 128,5 x 86,5 | mm | ||
| Material, Grundkörper | Aluminium, schwarz eloxiert | |||
| Betriebstemperatur | -20..80 | ℃ | ||
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310