SFS-D00200 SlimFocus sind so konstruiert, dass der Anwender vollständig freien Zugang zum Objektiv und zur Probe behält. Der Stellweg beträgt 200 µm.
| Produktnummer | SFS-D00200 | Einheit |
| Positionssensor | DMS, Vollbrücke | |
| Auslenkung, Closed Loop | 200 | µm |
| Auslenkung, Open Loop (-45..180 V) | 250 | µm |
| Positionsauflösung, open loop | 1 | nm |
| Positionsauflösung, closed loop | 2 | nm |
| Linearität, closed loop | 0,2 | % |
| Wiederholgenauigkeit | 20 | nm |
| Last | 130 | g |
| Druck/Zug | 10/5 | N |
| Laterale Last | 5 | N |
| Steifigkeit | 0,1 | N/µm |
| Resonanz, mit Gewindeadapter | 200 | Hz |
| Resonanz, mit 125 g Objektiv | 80 | Hz |
| Elektrische Kapazität @ 1V eff, 1kHz | 2,2 | µF |
| Elektrischer Anschluss | Systemkabel, 1,5 m, DSub15 | |
| Gehäusematerial | Aluminium/Edelstahl | |
| Masse, ohne/mit Gewindeadapter | 80/140 | g |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C |
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310