SFS-D00100 ist ein Versteller/Scanner für Mikroskopobjektive. Die besonderen Vorteile gegenüber ähnlichen Produkten auf dem Markt sind: kürzerer Grundkörper, der mehr Platz zum Hantieren gibt und größere Dynamik für Positionieren und Rastern.
| Produktnummer | SFS-D00100 | Einheit |
| Positions-Sensor | DMS, Vollbrücke | |
| Stellweg, geregelt | 100 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-45..180 V) | 160 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 0.5 | nm |
| Resolution, geregelt | 1.0 | nm |
| Linearität, geregelt | 0.2 | % |
| Lateral-Versatz, systematisch | 100 | nm |
| Nicken/Gieren | 12 | µrad |
| Wiederholgenauigkeit | 10 | nm |
| Druck/Zug | 10/20 | N |
| Laterale Belastung | 10 | N |
| Steifigkeit | 0.5 | N/µm |
| Resonanz, mit Gewindeeinsatz | 620 | Hz |
| Resonanz, mit 150 g Objektiv | 260 | Hz |
| Elektr. Kapazität @ 1V eff, 1kHz | 3.3 | µF |
| Material | Aluminium/Edelstahl | |
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Passender Treiber, open-loop, EBO-050100
- Passender Kontroller, closed-loop, EBD-060210