C3O-L00600 (open-loop) und C3S-D00600 (closed-loop) sind kompakte 3D-Positioniertische, welche bis 900 Stellweg zur Verfügung stellen. Die Maße betragen nur 60x60x52 mm.
| Produktnummer | C3O-L00600 | C3S-D00600 | Einheit |
| Positionssensor | – | DMS | |
| Stellweg (-45..180 V) | 900x900x600 | 900x900x600 | µm |
| Stellweg, geregelt | – | 600x600x500 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 4 | 4 | nm |
| Auflösung, geregelt | – | 6 | nm |
| Linearität, geregelt | – | 0,2 | % |
| Wiederholbarkeit, geregelt | – | 50 | nm |
| Last | 200 | g | |
| Druck/Zug | 50/20 | N | |
| Steifigkeit | 0,15 | N/µm | |
| Resonanz, unbelastet | 190/145/130 | Hz | |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 4.4/Achse | µF | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | ||
| Maße | 60x60x52 | mm | |
| Kabellänge | 1,5 | m | |
| Anschluss | Lemosa | DSub | |
| Betriebstemperatur | -20.. 80 | °C | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passende Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060330