MegaFocus sind Positionierer mit sagenhaften 1,2 mm Stellweg. Die Regelung über den integrierten kapazitiven Sensor bringt höchste Positioniergenauigkeit. Es gibt auch eine Version ohne Sensor.
| Produkt-Bezeichnung | SFC-D21200 | Einheit |
| Positions-Sensor | kapazitiv | |
| Stellweg, geregelt | 1200 | µm |
| Auflösung, geregelt | 6 | nm |
| Linearität, geregelt | 0,02 | % |
| Wiederholbarkeit, 100 µm | 60 | nm |
| Nicken/Gieren | 60 | µrad |
| Druck/Zug | 10 | N |
| Last | 150 | g |
| Steifigkeit | 0,07 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 200 | Hz |
| Resonanz, 150g Last | 100 | Hz |
| Elektr. Kap. @ 1V eff., 1kHz | 13 | µF |
| Material, Grundkörper | Aluminium/Edelstahl | |
| Kabellänge | 1,5 | m |
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C |
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-060100
- Passender Controller, closed-loop, EBC-120310