LPa Lineartische haben wir entwickelt für schnelles Positionieren mit höchster Genauigkeit. Dazu dienen:
- Grundkörper aus Edelstahl
- symmetrische Führung mittels Festkörpergelenken (Flexures)
- Piezo-Direktantriebe
Jeder Tisch besitzt zwei Montageplattformen: eine obenauf, die andere stirnseitig. Die höchste Genauigkeit wird erzielt, wenn die stirnseitige Plattform das zu positionierende Objekt aufnimmt. Dann liegen die relevanten Komponenten Antrieb, Sensor, Führung und Objekt auf einer Linie (nach Ernst Abbe).
Es gibt die LPa mit zwei verschiedenen Stellwegen und jeweils drei unterschiedlichen Sensoren:
- LPO, ohne Sensor
- LPS, mit Dehnmessstreifen (DMS)
- LPC, mit kapazitiven Sensor (kap)
| Produkt-Nummer | LPa-b00045 | LPa-b00090 | Einheit |
| Stellweg (0..150 V) | 45 | 90 | µm |
| Stellweg (-45..180 V) | 72 | 143 | µm |
| Auflösung, LPO and open loop Auflösung, LPS Auflösung, LPC |
0.2 1 0.3 |
0.4 2 0.5 |
nm |
| Linearität, LPS Linearität, LPC |
0.2 0.02 |
0.2 0.02 |
% |
| Wiederholbarkeit, LPS Wiederholbarkeit, LPC |
5 4 |
10 8 |
nm |
| Druck/Zug | 200/25 | 200/25 | N |
| Steifigkeit | 21 | 10 | N/µm |
| Resonanz, unloaded | 3,000 | 2,000 | Hz |
| El. Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 3.3 | 6.6 | µF |
| Material, Grundkörper | Edelstahl | ||
| El. Anschlüsse | LPO: Lemosa LPS und LPC: DSub15 |
||
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C | |
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit oder unmagnetisch
- Passender Treiber, LPO, EBO-050100
- Passender Controller, LPS, EBD-060210
- Passender Controller, LPC, EBC-120310