LPO (open-loop Ausführungen) und LPS (Ausführungen mit Sensor) sind kleine Lineartische. Sie zeichnen sich durch Direktantriebe aus, welche für große Steifigkeit und damit höchste Betriebsdynamik sorgen. Die Tische besitzen 2 Plattformen zur Montage von Lasten, eine davon stirnseitig in der Verfahrebene (optimal nach Ernst Abbe).
| Produkt-Nummer | LPa-b00045 | LPa-b00090 | Einheit |
| Stellweg (0..150 V) | 45 | 90 | µm |
| Stellweg (-45..180 V) | 72 | 143 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 0,1 | 0,2 | nm |
| Auflösung, geregelt | 1 | 2 | nm |
| Linearität, geregelt | 0,1 | 0,2 | % |
| Reproduzierbarkeit, geregelt | 5 | 6 | nm |
| Druck/Zug | 200/25 | 200/25 | N |
| Steifigkeit | 21 | 10 | N/µm |
| Resonanz, unbelastet | 3 | 2 | kHz |
| El, Kapazität @ 1V eff. 1kHz | 3,3 | 6,6 | µF |
| Material | Edelstahl | ||
| Betriebstemperatur | -20..80 | °C | |
Produkt-Bezeichnung: LPa-b…:
a = O für die Open-Loop-Version
a = S für die Version mit Positionssensor
b = P für Pigtails (Kabel ohne Stecker)
b = L für Lemosa-Stecker (Option für die Open-Loop-Version)
b = D für DSub-Stecker, 15 polig (Option für die Version mit Sensor)
Optionen:
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-050100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060210