L3a Tische sind optimiert für Rastern und Nachführen (Scanning&Tracking). In X und Y stehen je 600 µm Stellweg zur Verfügung. Die Höhe beträgt 30 mm, die Apertur ist 66×66 mm groß. Diese Tische sind ideal für die Atomic-Force- und die Nahfeld-Mikroskopie. Die hoch-präzisen, reibungsfreien, drahterodierten Gelenke gewähren nahezu Null Übersprechen (Crosstalk) und flächentreuste Bewegung. Es gibt Varianten mit verschiedenen Z-Stellwegen, damit Anwendungen mit hoher Dynamik und feiner Auflösung genauso bedient werden können wie solche, welche größere Höhenvariationen abdecken.
| Produktnummer | XY600Z20 | XY600Z50 | XY600Z100 | XYZ600 | Einheit |
| Positionssensoren | DMS, Vollbrücke | ||||
| Stellwege, geregelt | 600/600/20 | 600/600/50 | 600/600/100 | 600/600/300 | µm |
| Stellwege, -45,,+180V | 720/720/24 | 720/720/60 | 720/720/120 | 720/720/360 | µm |
| Auflösung, geregelt, XY/Z | 6/0,2 | 6/0,3 | 6/0,5 | 6/1,5 | nm |
| Auflösung, ungeregelt, XY/Z | 3/0,1 | 3/0,3 | 3/0,5 | 3/1,5 | nm |
| Linearität, geregelt | 0,2 | ||||
| Wiederholbarkeit, XY/Z | 60/1 | 60/3 | 60/5 | 60/15 | nm |
| Resonanz, XY, unbelastet | 160 | ||||
| Resonanz, Z, unbelastet | 550 | 520 | 510 | 410 | Hz |
| El, Kapazität @ 1Veff 1kHz | XY13,2/Z4,4 | XY13,2/Z8,8 | XY13,2/Z13,2 | ||
| Maße (LxBxH) | 150x150x30 | mm | |||
| Apertur, Maße (LxB) | 66×66 | mm | |||
| Material, Körper, Plattform | Aluminium, schwarz eloxiert | ||||
| Kabellänge | 1,5 | m | |||
| Anschluss | DSub25 | ||||
| Betriebstemperatur | -20,,+80 | °C | |||
Optionen:
- Vakuumtauglichkeit und/oder unmagnetisch
- Geeigneter Treiber, open-loop, EBO-050100
- Geeignete Regelung, closed-loop, EBD-060210