SFS MegaFocus sind Positionerer mit sagenhaften 1 mm Stellweg. Der Grundkörper ist niedrig, damit Platz im kostbaren Raum nahe der Probe bleibt. Es gibt Versionen mit und ohne Sensor.
| Produktnummer | SFS-D01000 | Einheit |
| Positionssensor | DMS, Vollbrücke | |
| Stellweg, geregelt | 1000 | µm |
| Stellweg, ungeregelt (-35.. +150 V) | 1100 | µm |
| Auflösung, ungeregelt | 5 | Nm |
| Auflösung, geregelt | 10 | Nm |
| Linearität, geregelt | 0.2 | % |
| Wiederholbarkeit | 100 | Nm |
| Druck/Zug | 20/10 | N |
| Belastung | 300 | g |
| Steifigkeit | 0.1 | N/m |
| Resonanz | 135 | Hz |
| Resonanz, mit 250 g Last | 80 | Hz |
| Elektr. Kapazität @ 1V eff., 1 kHz | 17.8 | µF |
| Material, Grundkörper | Aluminium/Edelstahl | |
| Betriebstemperatur | -20..80 | ℃ |
Optionen:
- Open-Loop Version
- Vakuum-Tauglichkeit
- Unmagnetisch
- Passender Treiber, open-loop, z.B. EBO-050100
- Passender Controller, closed-loop, EBD-060310